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Die zum Patent
angemeldete Argon-Rückgewinnung bei der Herstellung von Siliziumwafern hat zum
Ziel, das Argongas, welches in Ingot-Schmelzöfen zur Inertisierung der
Siliziumschmelze eingesetzt wird, zurückzugewinnen und dem Produktionsprozess
wieder zuzuführen.
Prozess
Das gasförmige Argon wird nach dem Inertisierungseinsatz
im Kristallziehofen abgepumpt, von Ölfrachten und
Partikeln befreit, katalytisch gereinigt und
getrocknet.
Danach wird das Argongas über einen
Tieftemperatur-Rektifikationsprozess gereinigt, wobei
die Ausgangsqualität wieder zu erreicht wird. Aus
dieser Reinigungsschleife heraus wird das Gas
bedarfsgerecht wieder im Ofen zum Einsatz gebracht.
Nutzen
Dieser Kreislauf reduziert die Menge des eingesetzten
Gases um bis zu 80%. Er führt dazu, dass die
Umweltbelastung wesentlich verringert wird und ein
wertvoller Betriebshilfsstoff so effizient wie möglich
eingesetzt werden kann.
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